分子泵的维修
分子泵的保养与维修 分子泵在光盘行业的电镀机上得到广泛的应用 爱德华分子泵维修厂家,特别是在BPS、Unaxis的电镀机系统中。众所周知 普发分子泵维修价格,分子泵的价值不菲。维修的费用相当的高,所以分子泵的保养显得十分重要 德国普发分子泵维修,能够自己维修的话 普发分子泵,可以节约大量的成本,降低维修成本。下面的是一些关于分子泵的保养维修的基本资料,希望对大家有所帮助。一、分子系的内部结构 1.高真空接口 2.前级真空接口 3.冷却水连接 4.排气接口 5.电气连接 6.橡胶底座10.转子 10 a.转子中心毂 14.安装螺帽 16.USIT接头 58.螺丝 59螺帽 60.球型轴承 61.半径方向防震垫圈63.轴向防震垫圈 64.电视单元65.0-圈72.0-圈 73.0- 圈80.锁紧著81.0-圈82.润滑油包83.0-圈84.油包安装环 .
安装时应注意以下几点: 1、 设备安装应平地上,竖直方向上与垂直方向夹角小于5度。安装后要固定脚轮。 2、真空系统各连接部位应密封可靠,保证无泄漏发生。 3、水路系统接头处应无滴漏。 4、较好把从机械泵排出的气体引出室外。