在涡轮分子泵与前级泵之间装上一个真空阀,可以防止反向充气,当停电时立刻关上此阀。理想的情况是 光储媒体行业**分子泵,它即能对前级泵入口充气又不致于使泵油返流浸入安全阀。另外,只有当它的压力基本均衡时才能打开安全阀,否则就有可能出现压力冲击前级管道的问题,例如,在断电瞬间前级泵压力将为大气压力,然而前级管道仍可能处于真空状态下。若阀门的两侧压力差很大,一旦通电阀门会立刻打开,含污染油的大气压下的气体将由前级泵冲向前级管道,从而会污染系统。所以安全阀需要一定的延迟开启的时间,以便让前级泵将阀门后的管道内抽成真空,阀前后的压差均衡时才可打开安全阀,总之采取办法来控制阀门的两侧的压力差,不使气流返冲。
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