VARIAN 分子泵TV801/TV902
用于质谱仪,VARIAN TV903,医疗仪器专业设备中,
Base pressurewith recommended forepump : < 1X10-9 mbar (1X10-9 Torr)
Inlet flange : ISO160 F
Foreline flange : KF25
Rotational speed : 38000 rpm
Start-up time : <4 minutes
分子泵常见故障
极限真空度低 1.前级泵不匹配,抽气量不足 2.系统漏气 3.泵体出气
VARIAN TV801/TV902 涡轮分子泵
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分子泵抽气性能
* 由泵的极限压力,台州TV903,抽速和前级压力等决定
1.在泵的出口测气体处于分子流状态时,泵的极限压力与泵的叶列级数,
泵的吸入测泵体内表面及转子的零件表面的放气率,泵的抽速以及抽气腔的密封程度有关