VARIAN/AGILENT TV801 / TV902
TV801 Compression ratio:
N2: >1X10^9
He: 5X10^7
H2: 2X10^6
TV902 Compression ratio:
N2: >1X10^8
He: 1X10^5
H2: 1X10^4
VARIAN / Agilent TV801/TV902
Base pressurewith recommended forepump : < 1X10-9 mbar (1X10-9 Torr)
Inlet flange : ISO160 F
Foreline flange : KF25
Rotational speed : 38000 rpm
Start-up time : <4 minutes
真空中的热传导 空间中两个位置如果存在温度差,则会发生热传导。气体分子为黏性流的情况,压强变化后,传递热量的分子密度和分子的平均自由程也发生变化。